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高溫真空無氧烤箱JS-GYZF040,雋思無氧烘箱用于PI/BCB/LCP/PBO光刻膠固化、厭氧烘烤、MEMS生產(chǎn)、高溫退火等工藝，適用于半導(dǎo)體、電子、新材料等研發(fā)，生產(chǎn)。常用于科研單位，高校實(shí)驗(yàn)室，工廠生產(chǎn)線等場所。

BCB無氧烘箱，BCB固化烤箱用于半導(dǎo)體晶片、半導(dǎo)體封裝和MEMS器件的批量生產(chǎn)。主要用于PI固化，BCB固化，PBO固化，LCP纖維熱處理。

高溫?zé)o氧化烤箱，半導(dǎo)體制程烤箱用于PI、BCB膠高溫固化烘烤。整個(gè)箱體結(jié)構(gòu)分為：膛體組件、箱架組件和熱風(fēng)組件三個(gè)部分，膛體腔，內(nèi)表面全鏡面設(shè)計(jì)，風(fēng)道由左、右、后導(dǎo)風(fēng)板與箱體內(nèi)壁組合而成，膛體頂部有排風(fēng)管道。