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HMDS pretreatment system, HMDS oven reducing the contact angle of the silicon wafer after HMDS treatment The amount of photoresist to improve the adhesion of photoresist and silicon.

silicon wafer HMDS烤箱，HMDS OVEN1、預(yù)處理性能更好 2、處理更加均勻 3、效率高 4、更加節(jié)省藥液 5、更加環(huán)保和安全 6、低液報(bào)警裝置 7、可自動(dòng)吸取HMDS功能 8、可自動(dòng)添加HMDS功能 9、HMDS藥液泄漏報(bào)警功能 10、HMDS緊急疏散功能 11、數(shù)據(jù)記錄打印功能

HMDS鍍膜烤箱，HMDS真空鍍膜系統(tǒng)預(yù)處理性能更好，更加均勻；效率高,一次可以處理多達(dá)4盒的晶片；更加節(jié)省藥液；低液報(bào)警、防藥液泄漏等具有很強(qiáng)的安全保護(hù)功能；，有可自動(dòng)吸取添加HMDS功能，智能型的程式設(shè)定，一鍵完成作業(yè)。

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藍(lán)寶石增粘烘箱， HMDS烘箱將HMDS涂到半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。

HMDS烘箱原理，2-12寸晶圓預(yù)處理烘箱通過對烘箱 HMDS 預(yù)處理過程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間 等參數(shù)的編輯，可以在硅片、基片表面均勻涂布一層 HMDS，降低了 HMDS 處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量， 提高光刻膠與硅片的黏附性。