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碳化硅HMDS烘箱，SiC襯底HMDS烤箱將HMDS氣相沉積至半導(dǎo)體制造中氮化鎵（GaN）和、碳化硅（SiC）、硅片、砷化鎵等材料表面后，經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用

HMDS烘箱真空泵，IDP10無油泵泵具有密封設(shè)計(jì)，電機(jī)和軸承與真空環(huán)路全隔離，延長(zhǎng)了軸承的使用壽命，并提供潔凈、無油的真空條件。IDP 泵采用單面渦旋設(shè)計(jì)，可通過簡(jiǎn)單的工具在 15 分鐘內(nèi)完成維護(hù)操作。可選的集成式隔離閥防止意外污染，并且不會(huì)額外增加泵的高度。

OAP烘箱，OAP處理烘箱處理主要是為了改善親水性表面，變?yōu)槭杷裕瑥亩_(dá)到增加光刻膠粘附性的作用。

六甲基二硅氮烷(HMDS)表面處理設(shè)備的作用是勻膠前襯底“增附”處理。在光刻中，通常會(huì)用到一些例如藍(lán)寶石、氮化鎵、砷化鎵甚至是貴金屬薄膜等襯底，這類襯底與光刻膠的粘附性往往不怎么理想，這會(huì)導(dǎo)致后續(xù)的光刻顯影環(huán)節(jié)出現(xiàn)“裂紋”甚至是漂膠等問題。因此必須通過工藝手段改善，這個(gè)步驟我們叫做增附處理或者叫做助黏。

HMDS 烘箱是將HMDS蒸汽通過干燥的真空腔內(nèi)加熱到(120-150°C)，在襯底表面上HMDS作為單層膜進(jìn)行化學(xué)結(jié)合。

HMDS烤箱，HMDS真空烘箱將HMDS氣相沉積至半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后，經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。

HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )是將“去水烘烤“和HMDS處理放在同一道工藝，同一個(gè)容器中進(jìn)行，晶片在箱內(nèi)先經(jīng)過100℃-200℃的去水烘烤，再進(jìn)行HMDS處理，不需要從箱內(nèi)傳出，而接觸到空氣，晶片吸收水分子的機(jī)會(huì)大大降低，所以有更好的處理效果。